适用于8"/12"及以下晶圆、MPW晶圆、单芯片的手动探针测试
可应用于I-V/C-V测试、1/f噪声测试、射频/毫米波测试、功率测试、Load-Pull测试等
微孔真空吸附卡盘,可更好地兼容薄晶圆固定
高品质显微镜搭配高分辨率CCD系统,可清晰观察扎针情况,提高扎针的准确性
载物台单手快速移动及升降,使操作流程更加简洁
卡盘可完全拉出台面,方便进行晶圆取放
针座平台两段式快速分离
支持探针卡安装
显微镜支持多种选配
可选配~200℃/300℃高温卡盘扩展高温测试应用