适用于8"/12"及以下晶圆、MPW晶圆、划片后在蓝膜上芯片、单芯片的自动探针测试

可应用于I-V/C-V、1/f噪声、射频/毫米波、功率、Load-Pull测试等

微孔真空吸附卡盘，可更好地兼容薄晶圆固定

卡盘可完全拉出台面，更方便进行晶圆取放

AutoXY和AutoZ功能，支持不平整晶圆或蓝膜上的不等间距芯片的自动测试

MPW晶圆Map功能，支持在一个Map中定义完整的MPW晶圆

支持探针卡安装

可选配三同轴屏蔽腔与低漏电卡盘，漏电可达到fA级

可扩展VAP自动对针系统

可扩展电动探针座，实现多通道产品测试时通道间的自动切换