适用于8"/12"及以下晶圆、MPW晶圆、单芯片在高低温环境下的自动探针测试

-60°C~200℃/300℃高低温系统，为芯片提供稳定的高低温测试环境

三同轴屏蔽腔与低漏电卡盘设计，全温环境漏电可达到fA级

微孔真空吸附卡盘，可更好地兼容薄晶圆固定

卡盘可完全拉出台面，更方便进行晶圆取放

AutoXY和AutoZ功能，支持不平整晶圆测试

MPW晶圆Map功能，支持在一个Map中定义完整的MPW晶圆

支持探针卡安装

可升级3000V大功率Chuck盘，实现功率器件测试

可扩展VAP自动对针系统

可扩展电动探针座，实现多通道产品测试时通道间的自动切换