卡盘尺寸：6"/8"/12"

卡盘工艺：镀镍/镀金

温度范围：常温~200℃/300℃

温控分辨率：0.1℃

温度均匀性：±5℃/±0.5%

升温速率：≥10°C/min

加热方式：低压直流加热/PID控制