行程:20mm×20mm×20mm/30mm×30mm×30mm

重复定位精度:±1μm

全闭环反馈系统分辨率:0.1μm

固定方式：磁吸

可选配探针压力传感器

尺寸：180mm×135mm×170mm/190mm×135mm×170mm

注:需同时搭配PA-CT4电动针座控制器使用