卡盘尺寸：8"/12"


卡盘工艺：镀镍/镀金

温度范围：-60℃~200°C/300°C

温控分辨率:0.1℃

温度均匀性：±5℃/±0.5%

加热方式：低压直流加热/PID控制

制冷方式：洁净压缩空气(CDA)冷却

注：需同时配备屏蔽腔使用