适用于8"/12"晶圆的常温自动测试

一体化高精度设计，保证设备稳定精准

配置晶圆料仓，兼容多种Cassette类型

精密光学模组，可实现探针自动精确定位

支持多目测试

可对接Docking测试机构

支持高低温测试、高压大功率测试应用扩展