适用于8"晶圆的常温/高低温自动探针测试

微孔真空吸附载物台，可更好地兼容薄晶圆固定

同轴屏蔽腔与低漏电卡盘设计，保证全温环境下更低的漏电水平

卡盘可完全拉出台面，方便进行晶圆取放（半自动模式）

AutoXY自动校正功能，支持划片后在蓝膜上的不等间距DIE的自动测试（常温）

AutoZ功能，采用图形技术，可以自动补偿Z轴的扎针高度

高精度四轴机械手，支持晶圆全自动上下料

MPW晶圆Map功能，支持在一个Map中定义完整的MPW晶圆

支持自动巡边、自动校正、自动对针功能

支持安装手动探针座、电动探针座、探针卡夹具

兼容FOUP、FOSB料仓

可扩展3000V高压测试