适用于0.3mm~8mm芯片的外观缺陷检测
配置大理石隔振框架搭载高精度运动平台
芯片盒上料,可扩展自动化料仓
自动对焦功能(WDI),多角度光源
支持芯片正面明场和暗场多种缺陷检测
支持大尺寸产品的自动拼图
负样本深度自学习
支持无监督正样本和recipe 创建(导入)
支持通过CAD导入免检区
NG料同步人工审图功能
支持数据追溯功能,可对异常图片进行保存
可选配电动物镜切换系统实现多物镜自动切换